硅V型槽(硅V形槽,silicon V-groove chips)
硅V型槽是利用单晶硅各向异性的特性制作的。通过晶面自然解理形成的V型槽侧壁光滑、线条笔直,水平间距精度高,无精密机械加工的累计误差,能和光电子器件的间隔严格匹配,垂直方向在同一条高度上,大大减少了光电子器件和光纤耦合对准的损耗。
由于采用与微电子类似的微机械技术,并行生产工艺保证了高品质、大批量、低成本。
硅V型槽光纤阵列广泛应用于平面光波导器件PLC(Planar Lightwave Circuit)的自动耦合封装。我们已为这类客户批量提供0.127mm间距和0.250mm间距规格的硅V型槽,也可以根据用户的要求提供特殊尺寸的硅V型槽。这类硅V型槽具有插入损耗小(<0.5dB/通道)、偏振损耗低(<0.1dB/通道)、工作温度范围宽(-60℃~+150℃)等特点,目前已通过Telcordia-1221与Telcordia-1209试验测试。
硅V型槽光纤阵列的新用途是大功率半导体激光器阵列的对准耦合封装。我们已为客户提供0.200mm间距和0.500mm间距规格的硅V型槽,也可以根据用户的要求提供特殊尺寸的硅V型槽。基于硅V型槽的光纤密排是印刷行业革新换代中计算机直接制版机(CTP)的关键部件。
项目 数值 精度
通道数 ( N ) 2, 4, 8, 12,16, 32, 48, 64 或客户指定
通道间距(S) 0.127 mm、 0.250 mm ±0.0005mm
长度(L) 8.0mm或客户指定 ±0.05mm
宽度(W) 3.655mm或客户指定 ±0.05mm
厚度(T) 0.500mm、1.000mm或客户指定 ±0.025mm
V型槽角度 54.74º±0.08º
温度范围 -60ºC to 150ºC