硅柱
硅柱（硅镜）照片
硅柱
是带有精密定位槽的反射镜，由单晶硅材料构成，采用微细加工方法制作，用于微光学系统。
定位槽宽度：200+/-10微米
定位槽深度：300+/-20微米
反射面晶向：（100）晶面
硅V型槽 sil
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光纤密排
硅柱
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