硅V型槽(硅V形槽,silicon V-groove chips)
硅V型槽是利用單晶硅各向異性的特性製作的。通過晶面自然解理形成的V型槽側壁光滑、線條筆直,水平間距精度高,無精密機械加工的累計誤差,能和光電子器件的間隔嚴格匹配,垂直方向也在同一條高度上,大大減少了光電子器件和光纖耦合對準的損耗。
由於採用與微電子類似的微機械技術,並行生產工藝保証了高品質、大批量、低成本。
硅V型槽光纖陣列廣氾應用於平面光波導器件PLC(Planar Lightwave Circuit)的自動耦合封裝。我們已為這類客戶批量提供0.127mm間距和0.250mm間距規格的硅V型槽,也可以根據用戶的要求提供特殊尺寸的硅V型槽。這類硅V型槽具有插入損耗小(<0.5dB/通道)、偏振損耗低(<0.1dB/通道)、工作溫度範圍寬(-60℃~+150℃)等特點,目前已通過Telcordia-1221與Telcordia-1209試驗測試。
硅V型槽光纖陣列的新用途是大功率半導體激光器陣列的對準耦合封裝。我們已為客戶提供0.200mm間距和0.500mm間距規格的硅V型槽,也可以根據用戶的要求提供特殊尺寸的硅V型槽。
項目 數值 精度
通道數 ( N ) 2, 4, 8, 12,16, 32, 48, 64 或客戶指定
通道間距(S) 0.127 mm、 0.250 mm ±0.0005mm
長度(L) 8.0mm或客戶指定 ±0.05mm
寬度(W) 3.655mm或客戶指定 ±0.05mm
厚度(T) 0.500mm、1.000mm或客戶指定 ±0.025mm
V型槽角度 54.74º±0.08º
溫度範圍 -60ºC to 150ºC