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微硅鏡
是帶有精密定位槽的微反射鏡，由單晶硅材料構成，採用微細加工方法製作，用於微光學系統。

定位槽寬度：200+/-10微米
定位槽深度：300+/-20微米
反射面晶向：（100）晶面

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